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FMR-401、特性1)FMR是负性感光抗蚀剂，有较好的耐酸、耐酸性。2)FMR的解像性比较好，由于抗蚀剂中的金属离子含量极少，所以适合于半导体管（电晶体）、二极管、IC（集成电路）和LSI（大规模集成电路）等方面使用。2、使用方法1)表面处理：用天那水对金属板进行完全的脱脂处理。2)涂布处理：旋转式涂布、浸蘸、喷涂等。3)烘干：置入干燥箱中，80-100℃，20分钟：4)曝光：用晒版机贴合菲林片